中科飞测“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”专利公布

根据天眼查的资料，深圳中科飞测科技股份有限公司的一项专利“一种应用于半导体关键尺寸量测的x射线量测系统”已公布，公布日期为2025年3月11日，公布号为cn119594908a。

该发明属于半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供了一种用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统。该系统包括兼容的CDsAXS量测系统和XRR量测系统、共用样品台、XRR运算系统以及SAXS运算系统。CDSAXS量测系统和XRR量测系统的量测点一致，均位于共用样品台上。通过XRR量测系统实时采集半导体样品的反射率信号，XRR运算系统根据这些反射率信号获取半导体样品的电子密度和膜层周期等关键信息，并将这些信息作为先验知识共享给SAXS运算系统。CDSAXS运算系统则依据CDSAXS量测系统获取的散射信号以及这些先验知识，计算出半导体样品的HAR结构尺寸。本发明在CDSAXS量测过程中，同时、同步获取同一量测点的反射率信息，为CDSAXS量测提供先验知识，有效提升了CDSAXS量测系统模型计算的准确性。

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